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    PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明
    點擊次數:1459 更新時間:2022-11-16

    PARKERUHP隔膜閥-手動或氣動完整的產品說明

    (真空至300 psig) - 930係列

           930 係列隔膜閥(1-1 / 8英寸的閥體尺寸)可用於各種手動操作和氣動執行器操作。它擁有優異的可靠性,泄漏完整性和清潔度,使其在UHP半導體行業中成為理想的應用。

           930係列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計,可大限度地減少顆粒產生和截留,減少

    半導體應用中的工藝汙染。該係列閥門的嚴格設計,控製閥座和隔膜應力,以提供

    穩定和免維護的使用壽命。930係列閥[門潤濕部件由特種金屬製成,提供的耐腐蝕性和

    泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean" 316L不鏽鋼材質。Vericlean" 是派克

    的UHP級不鏽鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。930係列還提供聚三 氟氯Z烯( PCTFE ),

    聚醚醚酮樹脂( PEEK⑧)和聚酰亞胺( Vespel⑧)材質的閥座,可使930閥門與多種工藝流

    體相兼容。這些材料結合930係列嚴格的設計特點,給予了930係列產品在入口壓力高達300

    psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。

    930係列氣動閥可以配置限位開關或接近開關,用以提供開-關位置指示。還有多種閥體構造

    可選,包括930Y係列( Y型閥)和SM930係列(麵板安裝)。

    930係列閥門上內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試,

    以適應在苛刻的UHP應用中, 保有其性能和穩定性。

    市場:

    半導體

    分析實驗室

    ●製藥

    , 生物製藥

    ●航空航天

    .工業

    PARKERUHP隔膜閥特點與優勢:

    ●電拋光表麵光潔度: 5微英寸( Ra )

    ●高循環使用壽命(包括耐腐蝕性服務)

    ●內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留

    ●全壓力範圍使用:從真空到300 psig

    ●內部泄漏率:≤1x10-9scc/secHe

    .外部泄漏率:≤2 x 10-10scc/ sec He

    ●AOP驅動,額定壓力為75 psig

    PARKERUHP隔膜閥應用:

    腐蝕性氣體和特種氣體

    半導體工具

    工具連接

    燃氣櫃.

    閥組箱(VMB)

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